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Notice de type
Personne
Annuaire des téléphones et adresses électroniques Universités-Recherche
Dépôt à basse température de couches minces d'oxyde de silicium élaborées en plasma
oxygène / organosilicié dans un réacteur hélicon / Christophe Vallée ; sous la direction
de Agnès Granier, 1999. - Thèse de doctorat : Physique : Nantes : 1999
Elaboration par PE-MOCVD à injection de couches minces d'oxyde d'yttrium pour des
applications en microélectronique avancée [thèse 2004] / Christophe Durand
Le point d'accès peut être employé dans un point d'accès sujet
Le point d'accès ne peut s'employer qu'en élément initial