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Identifiant pérenne de la notice : 030031192Copier cet identifiant (PPN)
URI de l'entité : http://www.idref.fr/030031192/idCopier cet URI
Notice de type Rameau

Point d'accès autorisé

Lithographie par faisceau d'électrons

Variantes de point d'accès

Lithographie à faisceau d'électrons
[Nom commun]
Lithographie électronique
[Nom commun]


Terme spécifique

  Microlithographie


Notice d'autorité liée

Autre   Faisceaux électroniques (Voir aussi)

Source

Étude et correction des effets de proximité et de topographie en lihographie par faisceau d'électrons : réalisation d'un simulateur / A. Ouabbou, 1993 [mémoire]

Identifiants externes

Identifiant ARK BNF : http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb12153019s

Utilisation dans Rameau

Le point d'accès ne peut être employé que dans un point d'accès sujet
Le point d'accès ne peut s'employer qu'en élément initial

Equivalent dans un autre référentiel

Terme équivalent dans un autre système : Lithography, Electron beam
Date de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2017-02-09
Code du système ou de la classification utilisé : LCSH
Terme équivalent dans un autre système : Lithographie par faisceau d'électrons
Date de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2014-09-12
Code du système ou de la classification utilisé : RVMLaval

Informations sur la notice

Identifiant de la notice : 030031192
RCR créateur de la notice : 0004
Date de création : 05-07-1990
RCR dernier modificateur de la notice : 341720001
Date de dernière modification : 16-06-2021 à 05 h 33

... Références liées : ...