cx j22 3 45 031376398 http://www.idref.fr/031376398 19920826 20190222163755.000 0004 1999 Td8 http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb12260299g BNF 20160115 frBN00831748X FRBNF122602996 FRBNF12260299 19920826afrey50 ba0 2 1 1 rameau ba0yba0y # Silicium Substrats ba0yba0y # Silicium Supports ba0yba0y # Substrats (circuits intégrés) Voir aussi 151161283 z|xxx ba0yba0y Bruit de substrat Voir aussi 027282295 z|xxx ba0yba0y Couches minces Voir aussi 027613887 z|xxx ba0yba0y Dépôt chimique en phase vapeur Voir aussi 027731464 z|xxx ba0yba0y Épitaxie 027223221 g|xxx ba0yba0y Circuits intégrés 530 Physique Note de regroupement par domaine 600 Technique Note de regroupement par domaine FR FR-751131015 20040205 FR Abes 20190222 AFNOR Laval RVM (en ligne), 2004-02-05 Réforme Rameau janvier 2019 Td ouverte à la subd. géogr. 20190215 Silicium -- Substrats Silicium -- Supports Substrats (circuits intégrés)