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Identifiant IdRef : 031377114Copier cet identifiant (PPN)
Notice de type Rameau

Point d'accès autorisé

Lithographie par rayons X

Variante de point d'accès

Lithographie aux rayons X
[Nom commun]

Source

Lithographie par rayons-X à très haute résolution : contribution à l'étude de la fabrication de structures nanométriques AlGaAs/GaAs par implantation ionique / R. K. Kupka, 1995 [microforme]

Lithographie profonde par rayons-X sur rayonnement synchroton / Z. Liu, 1997 [mémoire]

Autres identifiants

Identifiant BNF : FRBNF122603557

Utilisation dans Rameau

Le point d'accès ne peut être employé que dans un point d'accès sujet
Le point d'accès ne peut s'employer qu'en élément initial

Equivalent dans un autre référentiel

Terme équivalent dans un autre système : Lithographie par rayons XDate de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2014-09-12Code du système ou de la classification utilisé : RVMLaval
Terme équivalent dans un autre système : X-ray lithographyDate de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2017-02-09URI : http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85148736Code du système ou de la classification utilisé : LCSH

... Références liées : ...