Identifiant pérenne de la notice : 031377467
Notice de type Rameau
Le point d'accès ne peut être employé que dans un point d'accès sujet
Le point d'accès ne peut s'employer qu'en élément initial
Equivalent dans un autre référentiel
Terme équivalent dans un autre système : Lithographie par faisceau d'ionsDate de consultation du référentiel ou de la classification externe : 1994-02-18Code du système ou de la classification utilisé : RVMLaval
Terme équivalent dans un autre système : Ion beam lithographyDate de consultation du référentiel ou de la classification externe : 2017-02-09URI : http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85067791Code du système ou de la classification utilisé : LCSH