Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du dépôt de carbure de silicium
par décomposition thermique du mélange méthyltrichlorosilane-hydrogène / Nelly Dorval
; sous la direction de Claude Lardieux [thèse]
Internet, https://www.researchgate.net/profile/Nelly-Dorval, 2024-09-11