Identifiant pérenne de la notice : 060603011
Notice de type
Personne
Limites imposées par les procédés de gravure plasma lors de la réalisation d'une structure
double damascène : rugosité en fond de ligne des diélectriques poreux et intégration
des barrières auto-positionnées / Fanny Bailly [thèse] ; sous la direction de Christophe
Cardinaud
Procédés de gravure de SiO2 en plasmas denses fluorocarbonés pour des applications
en nano- et micro-technologies / Freddy Gaboriau [thèse]; sous la dir. de Christophe
Cardinaud
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