Identifiant pérenne de la notice : 083282106
Notice de type
Personne
Analyse ultime par Spectrométrie de Masses des Ions Secondaires des matériaux de la
microélectronique avancée : contribution à l'interprétation des profils de bore dans
le silicium / par Nicolas Baboux ; sous la dir. de jean-Claude Dupuy [Thèse doctorat
: dispositifs de l'électronique intégrée : Lyon, INSA : 2001]