Identifiant pérenne de la notice : 109168666
Notice de type
Collectivité
Note publique d'information : Le Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes (LMOPS) est une unité de
recherche du CNRS depuis le 1er Janvier 2005 en tant que UMR (Unité Mixte de Recherche
du CNRS). Il relève de la double tutelle de l'Université de Metz et de l'école d'ingénieurs
Supélec
Caractérisation, modèlisation et synthèse de films minces de nitrure de bore (BN)
par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) / Morad Eliaoui ; sous
la direction d' Armand Bath,... et d'Ali Ahaitouf,...(2006)
Croissance de films minces de nitrure de bore hexagonal et cubique par dépôt chimique
en phase vapeur assisté par plasma. Caractérisations optiques et électriques / par
Ali Soltani ; sous la direction de Armand Bath, 2001