Identifiant pérenne de la notice : 110258479
Notice de type
Personne
Notice n° : FRBNF12385106 96/12/19
Effets de température dans les procédés de gravure plasma : aspects fondamentaux et
applications[Thèse imprimée 2008]/Min Koo
Microwave excited plasmas / ed. by Michel Moisan, Jacques Pelletier, 1992
Étude de l'ionisation négative de surface : application à la production de faisceaux
intenses d'ions négatifs I- par ionisation de surface en transmission / Jacques Pelletier,
1978. - Thèse : Sciences physiques : Grenoble 1 : 1978 ; 53