Gravure profonde du silicium par le procédé cryogénique / par Thomas Tillocher, 2006
https://www.univ-orleans.fr/fr/gremi/thomas-tillocher, 2021-12-09
Information trouvée : Enseignant-chercheur à l'Université d'Orléans et membre du Groupe de recherches sur
l'énergétique des milieux ionisés (GREMI)