Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically
1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves
replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures
using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled
clean rooms
Point d'accès autorisé parallèle
Microtechnology
Identifiants externes
Identifiant MeSH : mesD055616
Utilisation dans FMeSH
Qualificatifs autorisés : IS / MT / SN / ST2009
Informations sur la notice
Identifiant de la notice : 143195174
RCR créateur de la notice : 4994
Date de création : 12-04-2010
RCR dernier modificateur de la notice : 4994
Date de dernière modification : 26-11-2024 à 14 h 06