Identifiant pérenne de la notice : 176039155
Notice de type
Personne
Élaboration et caractérisation de films de SiO2 déposés à basse température ( 50°C
) / parAlexandra Pecheur ; sous la dir. de Pierre Pinard [ Thèse de doctorat : Dispositifs
de l'Électronique Intégrée : Villeurbanne : INSA de Lyon : 2000 ]