Identifiant pérenne de la notice : 191280291
Notice de type Rameau
ChemIDPlus : silicon nitride oxyde - http://chem.sis.nlm.nih.gov (2016-03-03)
Handbook of nanostructured materials and nanotechnology / H. S. Nalwa, 2000 (p. 126)
: silicon oxynitride
Étude structurale, optique et électrique de couches minces d'oxynitrure de silicium
déposés par pulvérisation cathodique radiofréquence réactive / F. Rebib, 2006 [thèse]
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