Amélioration des méthodes de contrôle dimensionnel et d'alignement pour le procédé
de lithographie à double patterning pour la technologie 14 nm / Damien Carau ; sous
la direction de Cécile Gourgon, Maxime Besacier et Christophe Dezauzier. Thèse de
doctorat : Nanoélectronique et nanotechnologie : Grenoble Alpes : 2015
Information trouvée : Ingénieur, Nanometrics Incorporated, Chennevières