Identifiant pérenne de la notice : 212774131
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : Depuis une quarantaine d’années, la spectroscopie m-lines est utilisée pour la caractérisation
optique de guides d’ondes plans monocouches. L’objet des travaux de recherches de
cette thèse a été d’en généraliser l’emploi à l’étude de guides composites multicouches.
Une méthode d’analyse numérique, permettant de relier les mesures m-lines aux valeurs
des indices optiques et des épaisseurs d’un guide à trois couches, a été développée.
La précision de cette méthode a été étudiée par une approche statistique sur un grand
nombre de guides simulés et estimée à environ 10-3 pour l’indice de réfraction et
à une dizaine de nanomètres pour l’épaisseur. Des structures multicouches ont été
élaborés à partir de ZnO et de PZT et caractérisés par la spectroscopie m-lines. La
variation d’indice de réfraction de chacune des couches des guides ZnO/PZT/ZnO ont
pu être corrélées à des résultats d’analyse structurale. La méthode d’analyse des
guides à trois couches a donc été validée expérimentalement.
Note publique d'information : Since forty years, m-lines spectroscopy is employed in order to optical characterize
plane monolayer waveguides. Objective of the present research work was to generalize
this technique for the study of composite multilayer waveguides. A numerical analysis
algorithme, allowing to relate the m-lines measurements to the different optical refraction
indexes and the thicknesses of a three layer waveguide, was developed. In a statistical
approach, a large number of simulated waveguides was used in order to study the precision
of the method, which was estimated to be approximately 10-3 for the refraction index
and about ten nanometers for the thickness. Composite multilayer structures, using
ZnO and PZT, were elaborated and characterized by m-lines spectroscopy. The variation
of the refraction index of each layer of the ZnO/PZT/ZnO waveguides could be correlated
to the results from the structural analysis. Hence, the analysis method of the three
layer waveguide was experimentally verified.
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data.idref.fr
Documentation
