Identifiant pérenne de la notice : 226421295
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : Ce travail porte sur la caractérisation optique du silicium poreux et son application
à la réalication de structures à modulation d'indice (superréseaux). Une première
étude de la diffusion optique a montré l'homogénéité de ce matériau à l'échelle de
la lumière, justifiant une description par un indice de réfraction moyen. Si la formation
électrochimique du silicium poreux permet l'obtention de couches minces d'épaisseurs
parfaitement définies, en revanche des fluctuations du front de dissolution entrainent
une diffusion à l'interface silicium poreux/silicium cristallin. Cet effet a nécéssité
de développer une analyse des mesures optiques dans le cas d'interfaces rugueuses.
La détermination des constantes optiques a été réalisée par une mesure à basse température
de la transmission par photoconduction dans le silicium cristallin et par ajustement
des spectres de réflectivité des couches minces. D'une manière générale, alors que
la dispersion de l'indice est assez faible, l'absorption du siliicum poreux se caractérise
par une dépendance exponentielle sur une grande plage en énergie. Cette étude a permis
la réliasation de structures à modulation d'indice telles que des réflecteurs de Bragg,
des filtres Fabry-Perot ou des microcavités luminescentes. La mise en évidence de
différences entre la formation des couches simples et enterrées a compliqué la caractérisation
de ces structures. La très bonne qualité optique et le fort rendement quantique intrinsèque
au silicium poreux de type P ont permis d'obtenir des microcavités luminescentes très
efficaces. Enfin, en combinant l'holographie et la photochimie, un nouveau type de
gravure en profondeur a été développé permettant d'obtenir des structures à modulation
d'indice latérale de périodicité submicronique. La photodissolution localisée du matériau
a été mise en évidence après et pendant la formation de la couche poreuse et ce pour
tout type de silicium poreux y compris le macroporeux
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Documentation
