Identifiant pérenne de la notice : 233963979
Notice de type
Personne
Dépôts sélectifs d'oxydes de Titane et de Tantale par ajout d'un plasma de gravure
dans un procédé PEALD pour application aux mémoires résistives / Rémi Vallat ; sous
la direction de Christophe Vallée. Thèse de doctorat : Nano electronique et nano technologies
: Grenoble Alpes : 2018