Identifiant pérenne de la notice : 234784970
Notice de type Rameau
ChemIDplus Advanced : trichlorovinylsilane - https://chem.nlm.nih.gov/chemidplus (2019-07-10)
Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de carbure de silicium (SiC) à partir de vinyltrichlorosilane
(VTS) et de méthylsilane (MS) / A. Desenfant, 2018 [thèse]
INERIS : Portail Substances Chimiques (art. : Trichloro(vinyl)silane) - https://substances.ineris.fr/fr
(2019-07-10)
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