Identifiant pérenne de la notice : 234785020
Notice de type Rameau
ChemIDplus Advanced : silane, -methyl - https://chem.nlm.nih.gov/chemidplus (2019-06-12)
Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de carbure de silicium (SiC) à partir de vinyltrichlorosilane
(VTS) et de méthylsilane (MS) / A. Desenfant, 2018 [thèse]
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