Identifiant pérenne de la notice : 236317024
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : La réduction des recombinaisons aux surfaces des cellules solaires est un enjeu fondamental
pour l'industrie photovoltaïque. La passivation des défauts électriques en surface
peut être obtenue par la formation de liaisons chimiques ou par l'apport de charges
électriques capables de repousser un type de porteurs. Ces effets peuvent être obtenus
grâce à des couches minces fonctionnalisées déposées sur les surfaces des matériaux
qui constituent les cellules. Dans le cadre de cette thèse nous avons étudié la passivation
de surface du silicium par des couches minces d’Al2O3 déposées par ALD. La caractérisation
physique, optique, structurale et chimique des couches déposées a été réalisée. Une
optimisation du procédé d’élaboration (nettoyage pré dépôt, paramètres de dépôt et
de recuit) de couches d’alumine a été nécessaire pour répondre aux exigences de la
réduction de recombinaisons de surface et obtenir des résultats de passivation optimisés.
Enfin, différentes briques technologiques nécessaires à l’intégration de ces couches
dans l’architecture d’une cellule solaire silicium ont été étudiées et développées.
Note publique d'information : The reduction of recombination at the surfaces of solar cells is a fundamental challenge
for the photovoltaic industry. Passivation of surface electrical defects can be achieved
by the formation of chemical bonds or by the supply of electric charges capable of
repelling a type of carrier. These effects can be obtained by means of functionalized
thin layers deposited on the surfaces of the materials which constitute the cells.
In this thesis we studied the surface passivation of silicon by thin layers of Al2O3
deposited by ALD. The physical, optical, structural and chemical characterization
of the deposited layers was carried out. An optimization of the preparation process
(pre-deposition cleaning, deposition and annealing parameters) of alumina layers was
necessary to meet the requirements of reduction of surface recombinations and to obtain
optimized passivation results. Finally, various technological bricks necessary for
the integration of these layers in the architecture of a silicon solar cell have been
studied and developed.