Identifiant pérenne de la notice : 247853968
Notice de type
Notice de regroupement
Note publique d'information : LE PRESENT TRAVAIL S'INSCRIT DANS LE CADRE D'UNE ETUDE COMPLETE D'UN REACTEUR CLASSIQUE
DE DEPOT DE COUCHES MINCES DE SIO 2 ASSISTE PAR PLASMA UTILISANT LE MELANGE N 2O/SIH
4. CETTE ETUDE EST BASEE SUR LE COUPLAGE DES MODELES ELECTRIQUE, HYDRODYNAMIQUE ET
DE TRANSFERT DE MATIERE AINSI QUE SUR LES MESURES PAR SPECTROMETRIE DE MASSE. L'OBJECTIF
EST DE DEVELOPPER LE MODELE ELECTRIQUE ET DE L'APPLIQUER A LA DECHARGE RF. L'OBJECTIF
EST EGALEMENT DE DETERMINER LES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES COMME LA PUISSANCE DISSIPEE
ET AUSSI DE FOURNIR LES TAUX DE DISSOCIATION PAR IMPACTS ELECTRONIQUES AU MODELE DE
TRANSFERT DE MATIERE. LE MODELE RETENU, EST UN MODELE PARTICULAIRE OPTIMISE, BASE
SUR LA METHODE DE MONTE CARLO COUPLEE A L'EQUATION DE POISSON. CE MODELE ETUDIE L'EVOLUTION
SPATIO-TEMPORELLE DES DIFFERENTES PARTICULES CHARGEES DU PLASMA. IL EST D'ABORD APPLIQUE
AU CAS DE N 2O PUR, CAR LE N 2O CONSTITUE LE GAZ MAJORITAIRE DANS LE MELANGE N 2O/SIH
4, ENSUITE L'APPLICATION A CONCERNE LE MELANGE. CECI A PERMIS DE DETERMINER ET DE
VALIDER, POUR LA PREMIERE FOIS DANS LA LITTERATURE, LES JEUX DE SECTIONS EFFICACES
DE COLLISIONS ELECTRONS-N 2O, IONS-N 2O ET IONS-SIH 4. CES VALIDATIONS ONT ETE CONFIRMEES
PAR LES COMPARAISONS ENTRE LES MESURES ET LES CALCULS DE LA PUISSANCE DISSIPEE A 0.5
ET 1 TORR POUR UNE LARGE GAMME DE TENSIONS (DE 85 A 220 VOLTS). ELLES ONT ETE EGALEMENT
CONFIRMEES PAR LES COMPARAISONS DES PRESSIONS PARTIELLES OU DES VITESSES DE DEPOT
MESUREES ET CALCULEES A PARTIR DU MODELE DE TRANSFERT DE MATIERE COUPLE AU MODELE
ELECTRIQUE. NOUS AVONS NOTAMMENT MONTRE QUE LA PRISE EN COMPTE DES IONS NO - DANS
NOTRE MODELE, EST TRES IMPORTANTE POUR LA FORMATION ET LE MAINTIEN DE LA DECHARGE
DANS LE N 2O PUR SURTOUT A UNE PRESSION DE 1 TORR, GRACE EN PARTICULIER AUX PROCESSUS
DE DETACHEMENT ELECTRONIQUE. ENSUITE, DANS LE CAS DU MELANGE N 2O/SIH 4, LE MODELE
ELECTRIQUE A REVELE LA GRANDE EFFICACITE DE DEUX NOUVEAUX PROCESSUS COLLISIONNELS
DES IONS NEGATIFS O - ET NO - INTERAGISSANT AVEC LE SILANE.
paprika.idref.fr
data.idref.fr
Documentation
