Identifiant pérenne de la notice : 25313403X
Notice de type
Personne
Nesrine Belkadi, Kevin Nadaud, Clement Hallepee, Damien Passerieux, Pierre Blondy.
Zero-Level Packaged RF-MEMS Switched Capacitors on Glass Substrates. Journal of Microelectromechanical
Systems, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2020, 29 (1), pp.109-116.
(10.1109/JMEMS.2019.2949949). (hal-02519280)
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