Identifiant pérenne de la notice : 254374344
Notice de type
Personne
Développement de sources microplasma en mélange N₂/Ar pour la production d’azote atomique
en vue d’une application aux procédés de dépôt de nitrures / Salima Kasri ; sous la
direction de Jocelyn Achard et Claudia Lazzarini. Thèse de doctorat : Sciences matériaux
: Sorbonne Paris Cité : 2019