cx a22 3 45 256398232 http://www.idref.fr/256398232 20210705 20250516232724.000 384212103 384212103 Tp5 https://viaf.org/viaf/53162842103773040311 VIAF VIAF 20240401 20210705afrey50 ba0 fre 639-2 FR 19XX 0 1 0 ba AFNOR ba0yba0y frefre 0 Toublan Olivier 19..-.... auteur en microélectronique ba0yba0y Auteur d'une thèse de doctorat en microélectronique (Grenoble INPG, 1999) FR Abes 20250516 AFNOR Les effets de proximité en microlithographie : caractérisation et études des méthodes de correction / Olivier Toublan ; sous la direction de Nadine Guillemot, 1999. - Thèse de doctorat : Microélectronique : Grenoble INPG : 1999 Toublan, Olivier (19..-.... ; auteur en microélectronique)