Identifiant pérenne de la notice : 262787237
Notice de type
Personne
Étude des couches photosensibles à tonalité positive et développement humide pour
la lithographie avancée en UV profonds (248 nm) / Laurent Pain ; sous la direction
de Patrick Paniez, 1996. - Thèse de doctorat : Science et Génie des matériaux : Grenoble
INPG : 1996